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发明名称 SPUTTERING EQUIPMENT AND METHOD
摘要
申请公布号 KR20050049695(A) 申请公布日期 2005.05.27
申请号 KR20030083393 申请日期 2003.11.22
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 HAN, JONG WOO;JO, JUNG ON;KIM, YOUNG JOO;LEE, SANG IL;KIM, BO HYUN;PARK, TAE CHAN
分类号 (IPC1-7):C23C14/34 主分类号 (IPC1-7):C23C14/34
代理机构 代理人
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