| 发明名称 |
Device for loading and unloading substrates |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
HK1050763(A1) |
申请公布日期 |
2005.05.27 |
| 申请号 |
HK20030102856 |
申请日期 |
2003.04.22 |
| 申请人 |
STEAG HAMATECH AG. |
发明人 |
KLAUS WEBER;MARTIN SAMANN;JURGEN KALLIS |
| 分类号 |
B65G49/07;G11B23/00;H01L21/00;H01L21/677;(IPC1-7):H01L;B65G |
主分类号 |
B65G49/07 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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