| 发明名称 | 在CMP/清洗系统中现场输送、控制和混合化学药剂和浆体的系统与方法 | ||
| 摘要 | 一种化学机械平坦化系统包括现场化学药剂混合系统(210)、第一和第二泵(214)、第一和第二流量传感器(216、236)、混合器(220)以及控制器(240)。第一泵(214)的输入端接到第一化学药剂供应源(101)，和与第一泵(214)的输出端相接的第一流量传感器(216)。第二泵(234)的输入端接到第二化学药剂供应源(103)，和与第二泵(234)的输出端相接的第二流量传感器(236)。混合器(220)的输入端接到第一和第二流量传感器(216、236)的输出端。控制器(240)用于接收第一和第二流量传感器(216、236)的信号，并产生第一泵、第二泵(214、234)和混合器(220)的控制信号。 | ||
| 申请公布号 | CN1620639A | 申请公布日期 | 2005.05.25 |
| 申请号 | CN02828111.X | 申请日期 | 2002.12.23 |
| 申请人 | 拉姆研究公司 | 发明人 | 彭旭源;图安·源;维安·夸池;周仁 |
| 分类号 | G05B21/00 | 主分类号 | G05B21/00 |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人 | 李辉 |
| 主权项 | 1.一种用于CMP系统的混合两种或更多种化学药剂的方法，包括：把第一化学药剂泵送到使用点；监测从第一泵输出的所述第一化学药剂的流量；把第二化学药剂泵送到使用点；监测从第二泵输出的所述第二化学药剂的流量；按照对所述第一和第二化学药剂的混合物的需求控制所述第一和第二化学药剂流入混合器的流量；以及把所述混合物输出给CMP处理。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||