照明装置

摘要

一种照明装置，测定用的光对载物台(B)上的被测定物(W)进行照射之际，如果不能连续地变化照射角度则有时在被测定物(W)上出现阴影而产生无法用摄像机(11)来摄像的部位，无法测定。上下移动自如地设置从投光窗(31)射出光的投光部(3)在投光窗(31)的前方设置使射出的光的进路弯曲而对被测定物(W)进行照射的柱面透镜(21)。

主权项

1.一种照明装置，该照明装置使从光纤射出的光以多个照射角度对放置在水平载物台上的被测定物进行照射，其特征在于，在设置成相对于水平载物台升降自如的投光部上固定角度地支承光纤，并且使从该光纤射出的光的进路随着投光部的升降而连续地变更，为了使从光纤射出的光始终照射在被测定物上，所述照明装置由配置在上述光纤与被测定物之间的以固定角度支承的透镜、和与投光部的升降联动地使该透镜相对于投光部沿上下方向位移的位移机构来构成，根据光纤上下方向的位置，使从该光纤射出的光所照射的该透镜上的位置变化，据此使来自光纤的光始终照射在被测定物上。