图像传感器元件的制造方法

摘要

本发明公开一种图像传感器元件的制造方法，适用于具有至少一焊接垫的一衬底，其中于衬底中形成有多个光电二极管感测区，于衬底上至少形成有一介电层，且焊接垫设置于介电层中，并且于介电层上设置具有一开口的一第一保护层，并于开口中暴露出至少部分焊接垫表面，此方法包括下列步骤：于第一保护层上与开口中形成一第二保护层，再于第二保护层上形成一彩色滤光膜层，其后，于第二保护层与彩色滤光膜层上形成一平坦层，再于平坦层上形成多个微透镜。所述制造方法能够保持焊接垫表面的完整，从而确保后续的引线键合工艺能够良好地进行。

主权项

1.一种图像传感器元件的制造方法，适用于具有至少一焊接垫的一衬底，其中于该衬底中形成有多个光电二极管感测区，并于该衬底上至少形成有一介电层，且该焊接垫设置于该介电层中，并且于该介电层上设置具有一开口的一第一保护层，并于该开口中暴露出至少部分该焊接垫表面，该制造方法包括下列步骤：于该第一保护层上与该开口中形成一第二保护层；于该第二保护层上形成一彩色滤光膜层；于该第二保护层与该彩色滤光膜层上形成一平坦层；以及于该平坦层上形成多个微透镜。