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Ein Mikroinjektor (50) umfasst eine Kammer (54) zum Einschließen von Fluid, eine Öffnung (60) in Fluidverbindung mit der Kammer (54), wobei die Öffnung (60) über der Kammer (54) angeordnet ist, ein Stellglied, das unmittelbar benachbart zur Öffnung (60) und außerhalb der Kammer (54) angeordnet ist, zum Ausspritzen von Fluid aus der Kammer (54), eine Metallschicht (80), die über der Kammer (54) angeordnet ist, und einen Leitungskanal (86), der zwischen der Metallschicht (80) und der Erdung angeschlossen ist, zum Verhindern einer parasitären Kapazität.
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