| 发明名称 |
Verfahren zum Entfernen von Oberflächenverunreinigungen |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60016133(T2) |
申请公布日期 |
2005.05.25 |
| 申请号 |
DE2000616133T |
申请日期 |
2000.09.29 |
| 申请人 |
NOMURA MICRO SCIENCE CO. LTD., ATSUGI;UMS CO., LTD. |
发明人 |
MURAOKA, HISASHI |
| 分类号 |
H01L21/304;B08B3/08;C11D3/39;C11D7/26;C11D7/30;C11D11/00;(IPC1-7):B08B3/08;C11D7/02 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
