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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR INSPECTING AN OBJECT
摘要
申请公布号 EP1532479(A1) 申请公布日期 2005.05.25
申请号 EP20030792406 申请日期 2003.08.21
申请人 LEICA MICROSYSTEMS SEMICONDUCTOR GMBH 发明人 CEMIC, FRANZ;DANNER, LAMBERT;GRAF, UWE;MAINBERGER, ROBERT;SOENKSEN, DIRK;KNORZ, VOLKER
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/95;G01N21/956;G02B21/06;G02B21/10;G02B21/12;H01L21/66;(IPC1-7):G02B21/12 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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