| 发明名称 | 壳装微机械结构的装置及其制造方法 | ||
| 摘要 | 一光阻材质结构(34)，其并不需要牺牲层或晶圆接合程序即可加以产生，且被分别应用于必需的壳装、以及围绕在一基板(10)，例如，一晶圆，上的该微机械结构(14)的一空穴(38)，进以藉由，举例而言，一铸模以及铸造程序，而将其在之后处理中封装于一壳装中。在此，考虑之处在于，因为在使用一负光阻的例子中，该未交联的光阻，以及在一正光阻的例子中，该被漂白的光阻，乃必须在该显影步骤期间，自代表该空穴内部的区域处被移除，因此，不可能以选择性地单独蚀刻来产生一封闭的空穴，以及，考虑之处也在于，其有可能简单地将在稍后之显影步骤中所需要的此开口(44)进行封闭，以获得一封闭的空穴(38)。 | ||
| 申请公布号 | CN1618723A | 申请公布日期 | 2005.05.25 |
| 申请号 | CN200410095680.6 | 申请日期 | 2004.11.17 |
| 申请人 | 因芬尼昂技术股份公司 | 发明人 | M·弗拉诺斯奇;A·梅科斯;W·内斯勒;K·－G·奥佩曼恩 |
| 分类号 | B81B5/00;H01L23/02;H03H9/10 | 主分类号 | B81B5/00 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 杨松龄 |
| 主权项 | 1.一种用于壳装一微机械结构(14)的装置，包括：一基板(10)，其具有一主要侧(12)，而该微机械结构(14)则形成于该侧(12)；一光阻材质结构(34；134)，其围绕该微机械结构(14)以与该基板(10)形成一空穴(38)，该空穴位于该光阻材质结构(34；134)与该基板(10)之间，而该空穴(38)将该微机械结构(14)以及该光阻材质结构(34；134)彼此分开，并且具有一开口(44)；以及一封闭(46)，其用于封闭该开口(44)以将该空穴(38)关闭。 | ||
| 地址 | 联邦德国慕尼黑 | ||