使用脉冲加热和热定位进行有效的电阻微调的方法

摘要

提供了一种用于微调热隔离的微平台上的功能电阻的方法和电路，使得同一微平台上的第二功能电阻保持基本上不被微调；一种提供和微调电路的方法和电路，使得电路的至少两个电路元件处于相同的工作环境，且通过将电路工作时所产生的热量分布在两个电路元件之间来补偿所述工作环境；一种用于微调热隔离的微平台上的功能电阻的方法和电路，使得在功能电阻上获得恒定的温度分布；以及一种用于计算功能电阻的阻抗温度系数的方法和电路。

主权项

1.一种用于微调功能电阻的方法，该方法包括：在衬底上设置热隔离的微平台；在所述热隔离的微平台上放置多个可热微调功能电阻；对所述热隔离的微平台的一部分施加热脉冲，使得微调所述多个功能电阻中的一个的阻抗值，而同时剩余所述多个功能电阻的阻抗值保持基本上不被微调。