透明的n－型氧化锌／p－型金刚石薄膜异质结及其制备方法

摘要

本发明的透明的n-型氧化锌/p-型金刚石薄膜异质结及其制备属一种透明p-n结及其制备方法。以金刚石单晶为衬底(5)，工艺过程包括衬底的清洗(10)、p-型金刚石单晶薄膜的沉积(11)、p-型金刚石单晶薄膜的化学处理(12)、金刚石薄膜的欧姆电极制作(13)、n-型氧化锌多晶薄膜(3)的选择性沉积(14)、氧化锌薄膜的欧姆电极的制作(15)。沉积p-型金刚石单晶薄膜(1)时放置硼源；金刚石薄膜的欧姆电极(2)是顺序沉积的钛、钼、金薄膜；氧化锌薄膜的欧姆电极(4)是金膜。本发明的制备工艺简单易于实现，而且本发明的异质结具有良好的伏-安特性、光学透明性和抗高温特性；电极的欧姆接触性能好并且牢固。

主权项

1、一种透明的n-型氧化锌/p-型金刚石薄膜异质结，由金刚石薄膜的欧姆电极(2)、n-型氧化锌多晶薄膜(3)、氧化锌薄膜的欧姆电极(4)构成；n-型氧化锌多晶薄膜(3)上面有氧化锌薄膜的欧姆电极(4)，其特征在于，结构还有p-型金刚石单晶薄膜(1)，p-型金刚石单晶薄膜(1)制作在金刚石单晶衬底(5)上；金刚石薄膜的欧姆电极(2)和n-型氧化锌多晶薄膜(3)相互隔离制作在p-型金刚石单晶薄膜(1)上；所说的金刚石薄膜的欧姆电极(2)是钛、钼、金的多层膜，氧化锌薄膜的欧姆电极(4)是金膜。