电子发射元件、电子源、发光装置以及图像形成装置的各制造方法

摘要

本发明涉及电子发射元件、电子源、发光装置以及图像形成装置的各制造方法，即提供工序简略且制造成本低廉的、使以碳元素为主成分的纤维按照期望的密度固定在期望的位置上的、可以制造具有优异的电子发射特性的电子发射元件的方法，以及使用了上述元件的电子源、发光装置以及图像形成装置的各制造方法。采用具有以下特征的电子发射元件的制造方法。即，利用通过气溶胶化以碳元素为主成分的材料，并将之与气体一起搬送经由喷嘴使之紧密粘合在基板上的气溶胶式气相淀积法，用上述以碳元素为主成分的材料形成电子发射元件。

主权项

1.一种电子发射元件的制造方法，所述电子发射元件由多个碳纤维固定在基板上构成，其特征在于包括以下工序：(A)在第1容器内准备多个碳纤维；(B)将基板配置在第2容器内；(C)通过把上述第1容器内的压力设定得高于上述第2容器内的压力，使上述第1容器内的上述多个碳纤维通过连通上述第1容器和上述第2容器的搬送管输送到上述第2容器内，并通过使上述碳纤维各自的长度方向上的两端中的一端冲击到所述基板上，而由上述碳纤维各自的所述一端将各碳纤维直接固定在所述基板上。