Verfahren zur Verringerung parasitärer Kopplungen in Schaltkreisen

摘要

Der Erfindung, die ein Verfahren zur Verringerung parasitärer Kopplungen in Schaltkreisen, bei denen für vorhergehende Herstellungsverfahrensschritte Dummy-Strukturen eingebettet sind, betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, mit dem eine Verbesserung der Entkopplungswerte erreicht und der Verfahrensaufwand reduziert wird. Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, dass die Dummy-Strukturen durch Ätzschritte zumindest teilweise entfernt und Hohlräume erzeugt werden.