| 发明名称 |
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR SCHARFEINSTELLUNG EINER HALBLEITERSCHEIBE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69733087(D1) |
申请公布日期 |
2005.05.25 |
| 申请号 |
DE19976033087 |
申请日期 |
1997.11.04 |
| 申请人 |
ADVANCED MICRO DEVICES, INC. |
发明人 |
LEVINSON, J. |
| 分类号 |
G03F7/207;G03F9/00;(IPC1-7):G03F9/00 |
主分类号 |
G03F7/207 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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