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发明名称 PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050049349(A) 申请公布日期 2005.05.25
申请号 KR20040091864 申请日期 2004.11.11
申请人 USHIO INC. 发明人 HISHINUMA, NOBUYUKI;MATUNO, HIROMITU;SUGAHARA, HIROSHI
分类号 B08B7/00;C23C8/06;C23C16/48;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/461;(IPC1-7):H01L21/461 主分类号 B08B7/00
代理机构 代理人
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