电光器件基片,电光器件,电子器件和投影显示设备

摘要

提供一种用于实现均匀的抛光速度，而不使夹层绝缘膜变厚的结构，该半导体基片上带有用于像素选择的晶体管区。液晶板基片带有隔离膜12，第二夹层绝缘膜11，导线膜10，像素电极，和连接插头15。下部模型图形A和上部模型图形B在非像素区中的输入接线端焊盘26的周边上形成。由于在模型图形A和B上形成的第三夹层绝缘膜13的表面高度升高，防止了在该位置处的过度抛光。结果在CMP处理中实现均匀的抛光速度。

主权项

1.一种电光器件基片，包括在像素区中交替形成的多个夹层绝缘膜和多个导电层的层膜结构，在该像素区中开关元件与每个像素相对应设置在基片上，在所述多个导电层中的顶导电层下面至少一个夹层绝缘膜通过抛光变平或被平面化；所述基片的特征在于有单个或多个层的模型图形至少设置在在所述基片上的非像素区形成的接线端焊盘附近，该层包括经受所述抛光的所述夹层绝缘膜下面的所述导电层，由于所述单个或多个层的模型图形的存在，在所述多个导电层中的顶导电层下面即进行所述抛光的所述夹层绝缘膜的表面，在进行所述抛光之前的阶段，表面高度大致相同。