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发明名称
摘要
申请公布号
JP3652525(B2)
申请公布日期
2005.05.25
申请号
JP19980271107
申请日期
1998.09.25
申请人
发明人
分类号
H01L21/8234;H01L21/22;H01L21/336;H01L21/822;H01L21/8244;H01L27/06;H01L27/088;H01L27/11;H01L29/786;(IPC1-7):H01L29/786
主分类号
H01L21/8234
代理机构
代理人
主权项
地址
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