对应于基板伸缩的印刷电路板用曝光装置

摘要

一种印刷电路板用曝光装置，可抑制因基板的伸缩造成的图形偏移的影响，从而可制造出高精度、高密度的印刷电路板。呈连续胶片状的光掩模胶片(1)被卷在光掩模辊(10、10)上，通过辊(11、11)的滚动而位于载物台(4)上的基板(50)上。其上面描绘有多个具有按照设计值尺寸做成的曝光图形的标准光掩模(15)，和具有相对于该标准图形在尺寸上存在微小差异的图形的光掩模(15’)。控制装置(3)根据CCD照相机(2)拍摄的基板标记(51)的图像信号计算出伸缩量，并根据该计算结果驱动控制光掩模辊(10)，进行旋转或停止等控制，把光掩模(1)中的具有最合适的尺寸的曝光图形的光掩模(15)移动到基板(50)上。

主权项

1.一种印刷电路板用曝光装置，其特征在于，包括：具有对应于印刷电路板的伸缩而描绘的、不同大小的被曝光图形的多个光掩模；检测曝光前的印刷电路板的伸缩状态的检测单元；根据由所述检测单元检测出的曝光前的印刷电路板的伸缩状态，从所述多个光掩模中选择最合适的光掩模的选择单元；将所选择的所述光掩模设置在曝光部的设置单元；使用被设置在该曝光部中的光掩模，对所述印刷电路板进行曝光的曝光单元。