发明名称
摘要
申请公布号 JP3651344(B2) 申请公布日期 2005.05.25
申请号 JP20000026369 申请日期 2000.02.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/02;H01L21/301;H01L21/762;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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