具有抑振功能的超精密微动工作平台

摘要

本发明公开了一种具有抑振功能的超精密微动工作平台。在金属平板上的X、Y方向上开有开通的直槽，形成柔性铰链臂和柔性铰链的Y向工作平台；位于Y向工作平台内的金属平板的X、Y方向上开有另一开通的直槽，形成柔性铰链臂和柔性铰链的X向工作平台，在X、Y向的工作平台上分别对称装有一对压电驱动器。它是一种复合平行四杆结构，具有导向精度高、无间隙、导轨定位分辨率高、加工精度易于保证、不需要装配等优点。在同一方向上采用双驱动器形式，且两维工作平台构成镶嵌形式，消除了相互之间的位移耦合，使整个微动系统具有很高的定位精度和较好的抑振效果。本发明可用于高精度、超高精度的切削加工定位，同时适用精密仪器设备的抑振、减振。

主权项

1.一种具有抑振功能的超精密微动工作平台，其特征在于：1)在金属平板(1)两边的Y方向上分别开有一条相向对称的呈形开通的直槽，两个呈形开通的直槽上、下的两短边分别有两个向内凸出的开通的直槽，在金属平板两边的X方向上分别对称开有两个为一组的两组向外凸出的开通的直槽，并相互连通，分别与呈形开通的直槽上、下两短边的两个向内凸出的开通的直槽相对应，分别形成四个Y向柔性铰链臂(3)和八个Y向柔性铰链(4)，X方向的两组向外凸出的开通的直槽中间还开有能装压电驱动器的开通的槽，两个Y向压电驱动器(17、21)的前后部分别套上Y向驱动器前套(16)和后套(18)，前套(16)的顶端顶在Y向驱动器定位槽(15)中，用装在Y向驱动器预紧螺孔(19)内的螺钉顶在后套(18)上固定，形成Y向工作平台(5)；2)位于Y向工作平台(5)内的金属平板(1)两边的X方向上分别开有一条相向对称的呈形开通的直槽，两个呈形开通的直槽左、右的两短边分别有两个向内凸出的开通的直槽，在金属平板两边的Y方向上分别对称开有两个为一组的两组向外凸出的开通的直槽，并相互连通，分别与呈形开通的直槽左、右两短边的两个向内凸出的开通的直槽相对应，分别形成四个X向柔性铰链臂(7)和八个X向柔性铰链(6)，Y方向的两组向外凸出的开通的直槽中间还能装压电驱动器的开通的槽，两个X向压电驱动器(12、20)的前后部分别套上X向驱动器前套(10)和后套(13)，前套(10)的顶端顶在X向驱动器定位槽(11)中，用装在X向驱动器预紧螺孔(14)内的螺钉顶在后套(13)上固定，形成X向工作平台(8)。