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发明名称 CHARACTERIZATION ADN REDUCTION OF VARIATION FOR INTEGRATED CIRCUITS
摘要
申请公布号 EP1532670(A2) 申请公布日期 2005.05.25
申请号 EP20030741876 申请日期 2003.06.04
申请人 PRAESAGUS, INC. 发明人 SMITH, TABER, H.;WHITE, DAVID;MEHROTRA, VIKAS
分类号 H01L21/302;G06F;G06F17/50;G06F19/00;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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