| 发明名称 | 投影曝光设备中的成像装置 | ||
| 摘要 | 披露的是一种用于微刻的投影曝光设备(1)的成像装置(7)，其包括至少一个光学元件(10、33、34)和至少一个操纵装置(9、36、41)，该操纵装置设置有线性驱动器(11)，用于操纵光学元件(10、33、34)的位置。该线性驱动器(11)包括驱动的部分(14)和不驱动的部分(15)，它们沿着轴线(17)朝着彼此可移动。这两个部分(14、15)至少临时地经由沿着轴线(17)可操作的功能元件(18)，以及经由在一个方向上可操作的功能元件(19)来至少近似平行于移动轴线(17)来相互连接。 | ||
| 申请公布号 | CN1620731A | 申请公布日期 | 2005.05.25 |
| 申请号 | CN02828229.9 | 申请日期 | 2002.12.17 |
| 申请人 | 卡尔蔡司SMT股份公司 | 发明人 | W·哈梅尔;J·菲舍尔;K·－E·奥贝勒;E·默茨;R·罗尔;K·里夫;S·舍恩加特;M·诺伊迈尔;B·特罗斯巴赫;T·拉赛尔;U·韦伯;M·米尔贝耶;H·霍尔德雷尔;A·科尔;J·韦伯;J·利佩尔特 |
| 分类号 | H01L41/09;G02B7/02;G02B7/18;G02B27/00;G03F7/20 | 主分类号 | H01L41/09 |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 原绍辉 |
| 主权项 | 1.一种用于微刻的投影曝光设备中的成像装置，其包括至少一个光学元件和至少一个操纵装置，该操纵装置具有线性驱动器，用于操纵光学元件的位置，其特征在于，该线性驱动器(11)具有驱动的子区域(14)和不驱动的子区域(15)，它们在移动轴线(17)的方向上可相对于彼此移动，这些子区域(14、15)至少临时地经由具有至少近似垂直于移动轴线(17)的活动方向的功能元件(18)，以及经由具有至少近似平行于移动轴线(17)的活动方向的功能元件(19)来相互连接。 | ||
| 地址 | 德国上科亨 | ||