发明名称 PHOTOSENSITIVE COMPOSITIONS BASED ON POLYCYCLIC POLYMERS
摘要
申请公布号 EP1532486(A1) 申请公布日期 2005.05.25
申请号 EP20030762871 申请日期 2003.07.02
申请人 SUMITOMO BAKELITE CO., LTD. 发明人 ELCE, EDMUND, DR.;HIRANO, TAKASHI;KROTINE, JEFFREY, C. JR.;RHODES, LARRY, F.;GOODALL, BRIAN, L.;JAYARAMAN, SAIKUMAR;MCDOUGAL, CHRIS;SUN, SHENLIANG
分类号 G03F7/004;C08G59/32;C08G61/02;C08G61/06;C08L101/00;G03F7/038;G03F7/32;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F7/038;C08F232/00;C08G59/00 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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