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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING SYSTEM
摘要
申请公布号 EP1532667(A1) 申请公布日期 2005.05.25
申请号 EP20030793362 申请日期 2003.08.22
申请人 INTEGRATED DYNAMICS ENGINEERING, INC. 发明人 WHITCOMB, PRESTON;JAMIESON, JOHN
分类号 B23Q7/04;B65G49/07;H01L21/02;H01L21/677;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B23Q7/04
代理机构 代理人
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