用于溅射设备的电源装置

摘要

本发明在施加反向电压脉冲防止电弧放电的电路中，在反向电压脉冲施加结束后，在利用电弧放电检测装置(23)检测出电弧放电发生的情况下，在1～10μs以内，将由反向电压发生装置(12)产生的反向电压施加给溅射源，降低连续电弧放电的发生概率，同时利用与溅射源(14)串联连接的二极管(D10)、与该二极管(D10)并联连接的电阻(r10)，限制施加反向电压时的电流，降低因反方向电弧放电造成的连续电弧放电。

主权项

1.一种用于溅射设备的电源装置，在接地的真空槽内导入惰性气体，在该真空槽内配置的溅射源上施加负电压，进行溅射，该溅射设备的电源装置包括：直流电源，向上述溅射源施加直流电压；反向电压发生装置，为停止所述溅射中产生的电弧放电的发生，产生向所述溅射源施加的反向电压；开关装置，将由所述反向电压发生装置产生的反向电压施加给所述溅射源；电弧放电检测装置，检测所述真空槽内的电弧放电的发生；以及反向电压施加装置，在用该电弧放电检测装置检测出电弧放电发生的情况下，使所述开关装置按设定时间接通，将从所述反向电压发生装置产生的反向电压施加给所述溅射源；反向电压施加控制装置，是由上述反向电压施加装置施加的反向电压的，在该施加结束后，在用所述电弧放电检测装置再次检测电弧放电发生的情况下，在1～10μs以内，将由所述反向电压发生装置产生的反向电压通过上述反向电压施加装置施加给所述溅射源。