声共振器装置的隔离方法

摘要

一种隔离压电薄膜声共振器装置的方法。具体地说，此项隔离技术包括在声共振器装置之间控制或隔离压电材料层，限制沿横向传播离开装置的声能量。一方面，从装置中去除不涉及通过RF和声能之间的转换而传输信号的至少一部分压电材料。另一方面，在制造时把压电材料的生长限制在一定的区域。再一方面，在制造装置时扰乱或改变压电材料的晶体取向，从而形成具有优良的压电特性的区域和显示较弱的压电特性的区域。

主权项

1.一种产生声共振器装置的方法，其中声共振器装置由一种插在衬底表面上的两个导体之间的压电材料形成，其特征在于，包括：在衬底表面上沉积第一金属膜导体；将第一金属膜导体形成图案以形成第一电极；将衬底表面形成图案以限定区域，以改变该区域以阻碍定向的压电材料生长；使该限定区域内的衬底表面粗糙；在第一电极和衬底表面的限定区域上沉积压电材料；在压电材料上沉积第二金属膜导体；和使第二金属膜导体形成图案以形成第二电极。