发明名称 Semiconductor manufacturing system for thermal process
摘要
申请公布号 KR100491161(B1) 申请公布日期 2005.05.24
申请号 KR20020073699 申请日期 2002.11.26
申请人 发明人
分类号 H01L21/324;H01L21/683;C23C16/458;H01L21/22;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/324 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
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