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发明名称 DRY ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 KR100490968(B1) 申请公布日期 2005.05.24
申请号 KR19997003854 申请日期 1999.04.30
申请人 发明人
分类号 H01L21/302;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
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