| 主权项 |
1.一种加速度感测器,系具有一用以产生对应于应力之电荷的振动子、及一形成于前述振动子上之加速度感测器;其中前述振动子之正反面上具有成多数对之检测电极,且以前述检测电极形成之静电电容呈并联状。2.如申请专利范围第1项之加速度感测器,其中前述成多数对之检测电极中,藉由连接隔前述振动子而位于对角位置之检测电极群,可使前述静电电容呈并联状。3.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中前述振动子系压电体之单层板。4.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中前述锤部之重心位置系位于前述振动子上之领域外。5.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中前述振动子具有一通孔,该通孔系用以连接隔前述振动子而位于对角位置之检测电极群。6.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中前述锤部具有一凹沟,该凹沟系用以使形成于前述振动子之表面上的检测电极露出。7.如申请专利范围第6项之加速度感测器,其中隔前述振动子而位于对角位置之检测电极群,系以金属线或导电性树脂加以连接。8.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中前述锤部具有一形成于表面上之电极、及一用以连接前述振动子中之检测电极与前述电极之通孔;且,隔前述振动子而位于对角位置之检测电极群,系透过前述电极及通孔而连接。9.如申请专利范围第8项之加速度感测器,其中形成于前述振动子之反面上的检测电极与形成于前述锤部之表面上的电极,系以金属线或导电性树脂加以连接。10.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中前述锤部系以绝缘性材料形成。11.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中前述锤部系以经绝缘镀膜之金属加以形成者。12.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中前述锤部系以金属形成,且前述锤部与形成于前述振动子之表面上的检测电极间具有一绝缘层。13.如申请专利范围第1或2项之加速度感测器,其中前述振动子之下部具有一电路基板,且形成于前述振动子反面上的检测电极与前述电路基板系呈连接状态。14.一种加速度感测器封包,该封包系其中封装有如申请专利范围第1或2项之加速度感测器者。图式简单说明:第1A、1B及1C图系例示习知技术1之加速度感测器100的构成,第1A图系其斜视图,第1B图系例示压电振动子之构造的剖面图,第1C图系第1B图之等价电路。第2A及2B图系例示习知技术2之加速度感测器的构成,第2A图为其剖面图,第2B图为其等价电路。第3A、3B及3C图系例示本发明第1实施态样之加速度感测器的构成,第3A图系其斜视图,第3B图系例示压电振动子的构造之剖面图,第3C图系第3B图之等价电路。第4图系本发明第1实施态样之加速度感测器、与习知技术1之加速度感测器间之电压感度及电荷感度之比较图。第5A及5B图系显示本发明第1实施态样之加速度感测器的接续态样之例,第5A图系剖面图,第5B图系上视图。第6图系例示本发明第2实施态样之压电振动子的等价电路。第7A及7B图系例示本发明第3实施态样之电极配置及接续态样。第8A、8B及8C图系例示本发明第4实施态样之电极配置及接续态样。第9A及9B图系例示本发明第5实施态样之锤部构造的剖面图。第10A、10B及10C图系例示本发明第6实施态样之电极配置及接续态样,第10A图系显示第一例,第10B图系显示第二例,第10C图系显示第三例。第11图系例示封装有本发明之加速度感测器封包20之构成的剖面图。 |
