发明名称 隔离带之洗净装置及洗净方法
摘要 本发明提供可精简装置大小且加速处理速度又可更均匀化隔离带的乾燥状态的隔离带的洗净装置以及洗净方法。本发明之洗净装置系用为洗净连续地被输送之使用过的隔离带之隔离带洗净装置,具备配置在上游侧的洗净室、配置在洗净室的下游侧的乾燥室、配置在洗净室内且对通过洗净室内的隔离带喷射洗净液于隔离带表面的洗净喷嘴、和吹走附着在洗净室内被洗净且通过乾燥室内的隔离带的表面洗净液并配设在乾燥室内的除水手段。
申请公布号 TWI232839 申请公布日期 2005.05.21
申请号 TW092135465 申请日期 2003.12.15
申请人 三井金属矿业股份有限公司;水口电装股份有限公司 发明人 三井高志;出家克则;水口千津雄
分类号 B65G45/10;H01L21/50 主分类号 B65G45/10
代理机构 代理人 周登龙 台北市中正区重庆南路1段10号台企大楼4楼406室
主权项 1.一种隔离带之洗净装置,系用来洗净连续地被输 送之使用过的隔离带之隔离带洗净装置,其特征为 具备: 配置在上游侧的洗净室; 配置在前述洗净室下游侧的乾燥室; 配设在前述洗净室内,对通过前述洗净室内的隔离 带,喷射洗净液于隔离带表面的洗净喷嘴;以及 吹走附着在前述洗净室内被洗净而通过乾燥室内 的隔离带表面的洗净液且配设在前述乾燥室的除 水手段。 2.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为,对通过前述洗净室内的隔离带而言, 为了对隔离带的两侧表面喷射洗净液,前述洗净喷 嘴系以位于隔离带的两侧面而配置。 3.如申请专利范围第2项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为前述洗净喷嘴可摆动地构成于隔离带 的输送方向,藉此,以可变更对隔离带的洗净液的 喷射角度而构成。 4.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为前述洗净喷嘴可摆动地构成于隔离带 的宽度方向,藉此,以可变更对隔离带的洗净液的 喷射角度而构成。 5.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为在连接于前述洗净室的乾燥室的下游 侧,配设可吹走附着于隔离带表面的洗净液的除水 手段。 6.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为前述洗净室具备复数个分割洗净室。 7.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为藉由回收且循环在前述洗净室内从洗 净喷嘴所喷出的洗净液,再使用而构成。 8.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为前述洗净室为复数的分割洗净室之中 ,回收在下游侧的洗净室从洗净喷嘴所喷出的洗净 液,藉由循环于上游侧的洗净室的洗净喷嘴,再使 用该洗净液而构成。 9.如申请专利范围第7或8项所记载之隔离带之洗净 装置,其特征为配设杂质除去装置于循环前述洗净 液的通路上,藉由通过此杂质除去装置,往复循环 除去杂质的洗净液而构成。 10.如申请专利范围第9项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为前述杂质除去装置由磁石所构成。 11.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为在前述洗净室内,隔离带于上下方向 交互输送而构成。 12.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为在前述乾燥室内,隔离带于上下方向 交互输送而构成。 13.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为前述乾燥室系维持一定的乾燥温度而 构成。 14.如申请专利范围第13项所记载之隔离带之洗净 装置,其特征为前述乾燥室内的乾燥温度维持于60 ℃~90℃的范围而构成。 15.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为前述除水手段系从喷出压缩空气的空 气刀或喷出加热空气的热空气刀所构成。 16.如申请专利范围第15项所记载之隔离带之洗净 装置,其特征为前述空气刀或前述加热空气刀系从 沿着压送空气或加热空气的配管的轴方向所形成 的隙缝状开口喷出而构成。 17.如申请专利范围第16项所记载之隔离带之洗净 装置,其特征为前述空气刀或前述热空气管的配管 系由双重管所构成, 内侧的配管,具备沿着轴方向所形成的隙缝状内侧 开口; 外侧的配管,具备沿着轴方向所形成且配置于与前 述内侧配管的内侧开口大约180不同的方向的隙缝 状的外侧开口; 当压送内侧配管的空气或加热空气,从内侧配管的 内侧开口进入双重管的间隙,经由外侧配管的外侧 开口,喷射于隔离带而构成。 18.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为配置磁石于前述乾燥室的下游侧的出 口近旁的隔离带的输送路径,藉由此磁石吸着附着 于隔离带表面的磁性体而构成。 19.如申请专利范围第1项所记载之隔离带之洗净装 置,其特征为前述洗净喷嘴系个别设置于洗净室内 的隔离带的输送路径的上游区域以及下游区域。 20.一种隔离带之洗净方法,系用为洗净连续被输送 之使用过的隔离带之隔离带洗净方法,其特征系: 经由配设于配置在上游侧的洗净室内的洗净喷嘴, 对通过洗净室内的隔离带,喷射洗净液于隔离带表 面而洗净后, 在配置于前述洗净室的下游侧的乾燥室内之中,在 前述洗净室洗净,藉由配设于前述乾燥室的除水手 段吹走附着于通过乾燥室内的隔离带表面的洗净 液而乾燥。 图式简单说明: 第1图系一概略正面图,显示适用于实施依据本发 明的一实施例的洗净方法的洗净装置。 第2图系斜视图,显示采用于第1图的实施例的空气 刀以及热空气刀的双重管构造。 第3图系习知的洗净装置的正面图。
地址 日本