| 主权项 |
1.一种热式流体感测器,包含有: 加热器,系用以加热藉由来自外部之驱动电流而流 动于流路之计测对象流体; 横侧温度感测器,系对于此加热器配置成与前述计 测对象流体之流动方向大致成正交方向,检出前述 计测对象流体之温度后,输出用于算出流体物性値 之温度检出信号;及 支持基板,系用以支持前述加热器及前述横侧温度 感测器。 2.如申请专利范围第1项所述之热式流体感测器,其 特征在于:在与前述计测对象流体之流动方向略成 正交方向之前述加热器之两侧,分别配置前述横侧 温度感测器。 3.如申请专利范围第1项所述之热式流体感测器,其 特征在于:前述支持基板系具有固定有周边部分之 隔膜部;在此隔膜部,形成有前述加热器及前述横 侧温度感测器。 4.如申请专利范围第1项所述之热式流体感测器,其 特征在于:前述横侧温度感测器为热电堆。 5.如申请专利范围第1项所述之热式流体感测器,其 特征在于:前述横侧温度感测器为热电体。 6.一种流体判别装置,系使用前述申请专利范围第1 项之前述热式流体感测器,来判别前述计测对象流 体之种类者,其特征在于: 备有流体物性値算出手段,其系根据来自前述热式 流体感测器内之前述横侧温度感测器的前述温度 检出信号,算出前述计测对象流体之物性値。 7.如申请专利范围第6项所述之流体判别装置,包含 有: 流量测定手段,系用以测定流动于前述流路之前述 计测对象流体的流量; 基准値记忆手段,系随流动于前述流路之前述计测 对象流体之流量,而存储多数种类之来自前述热式 流体感测器内的前述横侧温度感测器之前述温度 检出信号基准値; 基准値推断手段,系从该基准値记忆手段所记忆之 多数种类的前述基准値中,推断单一之基准値,此 单一之基准系对应于由前述流量测定手段所测定 的,流动于前述流路之前述计测对象流体的流量; 及 温度检出信号比算出手段,系用以算出由该基准値 推断手段所推断之前述基准値与来自前述热式流 体感测器内前述横侧温度感测器的前述温度检出 信号之比;其特征在于; 前述流体物性値算出手段,系根据由前述温度检出 信号比算出手段所算出之前述比,算出前述计测对 象流体之物性値。 8.如申请专利范围第6项所述之流体判别装置,其特 征在于: 前述流体物性値算出手段,系将来自前述热式流体 感测器内横侧温度感测器之温度检出信号,乘于由 前述流量测定手段所测定的,流动于前述流路之前 述计测对象流体的流量及该流量之平方根中之任 一方,以算出前述计测对象流体之物性値。 9.如申请专利范围第6项所述之流体判别装置,其特 征在于:更包含有一种类判别手段,其系根据由前 述流体物性値算出手段所算出之前述计测对象流 体之物性値,来判别前述计测对象流体之种类。 10.一种流体判别装置,系使用申请专利范围第1项 所述之前述热式流体感测器来判别前述计测对象 流体种类之流体判别装置者,包含有: 流量测定手段,系用以测定流动于前述流路之前述 计测对象流体的流量; 基准范围资料存储手段,系与流动于前述流路之前 述计测对象流体的流量对应地,存储多数种类的基 准范围资料,此基准范围资料系将依流动于前述流 路之前述计测对象流体之种类而互异之基准范围 关联于前述计测对象流体种类者,而该基准范围就 是可从该热式流体感测器内之前述横侧温度感测 器输出之前述温度检出信号的基准范围者; 基准范围资料推断手段,系从存储于前述基准范围 资料存储手段之多数种类的前述基准范围资料中, 推断单一之基准范围资料,此基准范围资料系对应 于由前述流量测定手段所测定的,流动于前述流路 之前述计测对象流体的流量;及 该当范围判别手段,系用以判别来自前述热式流体 感测器内之前述横侧温度感测器的前述温度检出 信号,究竟在由前述基准范围资料推断手段所推断 之前述基准范围资料所显示的前述检出信号之基 准范围中,属于那一种类的,关联于前述计测对象 流体之基准范围;其特征在于: 若所属者为来自前述热式流体感测器内之前述横 侧温度感测器的前述温度检出信号,则把关联于由 前述该当范围判别手段所判别之基准范围的前述 计测对象流体之种类,判别为流动于前述流路之前 述计测对象流体的种类。 11.一种流量计测装置,系使用申请专利范围第1项 之前述热式流体感测器,来计测流动于前述流路之 前述计测对象流体流量的流量计测装置者,其特征 在于包含有: 流量测定手段,系用以测定流动于前述流路之前述 计测对象流体的流量;及 流量补正手段,系根据来自前述热式流体感测器内 之前述横侧温度感测器的前述温度检出信号,补正 由前述流量测定手段所测定的前述计测对象流体 流量。 12.如申请专利范围第11项所述之流量计测装置,其 特征在于: 前述流量测定手段,系构成为可输出一适应于流动 于前述道路之前述计测对象流体的流量测定値之 値信号; 前述流量补正手段,系构成为将使用前述温度检出 信号来除前述流量测定手段之输出信号値的値信 号,作为流量检出信号来输出,藉此进行由前述流 量测定手段所测定的前述计测对象流体流量之补 正。 13.一种流量计测装置,系使用申请专利范围第1项 之前述热式流体感测器,来计测流动于前述流路之 前述计测对象流体的流量之流量计测装置者,其特 征在于包含有: 流量测定手段,系用以测定流动于前述流路之前述 计测对象流体的流量; 判定手段,系根据前述流量测定手段之测定结果, 判定流动于前述流路之前述计测对象流体的流量, 究竟处于高流量状态及低流量状态之那一状态;及 流量输出手段,系由前述判定手段判定为前述低流 量状态时,将前述流量测定手段所输出之信号照原 样作为流量检出信号输出,而由前述判定手段判定 为处于前述高流量状态时,将藉由来自前述热式流 体感测器内前述横侧温度感测器之温度检出信号 値除前述流量测定手段之输出信号値之値信号,作 为前述流量检出信号输出。 14.一种流量计测装置,系使用申请专利范围第1项 之前述热式流体感测器,来计测流动于前述流路之 前述计测对象流体的流量之流量计测装置者,包含 有: 流量测定手段,系用于测定流动于前述流路之前述 计测对象流体的流量,以输出适应于其测定値的値 信号; 流体物性値算出手段,系根据来自前述热式流体感 测器内之前述横侧温度感测器的前述温度检出信 号,算出前述计测对象流体之物性値; 参数记忆手段,系存储有多数种类的,换算前述流 量测定手段之输出信号値成流量値之参数;及 选择手段,系根据由流体物性値算出手段所算出之 前述计测对象流体之物性値,从记忆于前述参数记 忆手段之多数种类的前述参数中,选择单一参数; 其特征在于: 将藉由由前述选择手段所选择之前述单一参数,从 前述流量测定手段之输出信号値换算之流量値,作 为流动于前述流路之前述计测对算流体的流量之 计测値。 15.一种流量感测器,包含有: 加热器,系用以加热藉来自外部之驱动电流来流动 于流路之计测对象流体; 上游侧温度感测器,系对于该加热器,配置在前述 计测对象流体之上游侧,以用来检出前述计测对象 流体之温度,输出用于计测流体流量之第一温度检 出信号; 下游侧温度感测器,系对于前述加热器,配置在前 述计测对象流体之下游侧,以用来检出前述计测对 象流体之温度,输出用于计测流体流量之第二温度 检出信号; 横侧温度感测器,系对于前述加热器配置成与前述 计测对象流体之流动方向略成正交方向,以用来检 出前述计测对象流体之温度,输出第三温度检出信 号;及 支持基板,系用以支持前述上游侧温度感测器,前 述下游侧温度感测器及前述横侧温度感测器。 16.如申请专利范围第15项所述之流量感测器,其特 征在于:在与前述计测对象流体之流动方向略成正 交方向的前述加热器之两侧,分别配置有前述横侧 温度感测器。 17.如申请专利范围第15项所述之流量感测器,其特 征在于: 前述支持基板,系备有固定有周边部分之隔膜部, 而在此隔膜部,则形成有前述加热器、前述上游侧 温度感测器、前述下游侧温度感测器及前述横侧 温度感测器。 18.如申请专利范围第15项所述之流量感测器,其特 征在于: 前述上游侧温度感测器及下游侧温度感测器为热 电堆。 19.如申请专利范围第15项所述之流量感测器,其特 征在于: 前述上游侧温度感测器及下游侧温度感测器为热 电体。 20.如申请专利范围第15项所述之流量感测器,其特 征在于: 前述横侧温度感测器为热电堆。 21.如申请专利范围第15项所述之流量感测器,其特 征在于: 前述横侧温度感测器为热电体。 22.一种流体判别装置,系使用前述申请专利范围第 15项所述的前述流量感测器,来判别前述计测对象 流体之种类的流体判别装置者,其特征在于包含有 : 流量算出手段,系根据来自前述流量感测器内上游 侧温度感测器的前述第一温度检出信号,与来自前 述下游侧温度感测器之前述第二温度检出信号的 差信号,算出前述计测对象流体之流量; 基准値记忆手段,系与流动于前述流路之前述计测 对象流体的流量对应地,存储有多数种类的,来自 前述流量感测器内横侧温度感测器之前述第三温 度检出信号的基准値; 基准値推断手段,系从前述基准値记忆手段所记忆 之前述多数种类基准値中,推断单一基准値,此单 一基准値系对应于由前述流量算出手段所算出的, 流动于前述流路之前述计测对象流体的流量; 温度检出信号比算出手段,系用以算出由前述基准 値推断手段所推断的前述基准値与来自前述流量 感测器内横侧温度感测器之前述温度检出信号的 比;及 流体物性値算出手段,系根据由前述温度检出信号 比算出手段所算出之前述比,算出前述计测对象流 体之物性値。 23.一种流体判别装置,系使用申请专利范围第15项 所述之前述流量感测器,来判别前述计测对象流体 种类之流体判别装置者,其特征在于包含有: 流量算出手段,系根据来自前述流量感测器内上游 侧温度感测器的第一温度检出信号,与来自前述下 游侧温度感测器之前述第二温度检出信号的差信 号,算出前述计测对象流体之流量;及 流体物性値算出手段,系将来自前述流量感测器内 横侧温度感测器之第三温度检出信号,乘于流动于 前述流路之前述计测对象流体的流量(由前述流量 测定手段所测定)及该流量之平方根中的任一方, 以算出前述计测对象流体之物性値。 24.如申请专利范围第22项所述之流体判别装置,其 特征在于: 更包含有种类判别手段,其系根据由前述流体物性 値算出手段所算出的前述计测对象流体之物性値, 来判别前述计测对象流体之种类。 25.一种流体判别装置,系使用申请专利范围第15项 所述之前述流量感测器,来判别前述计测对象流体 之种类的流体判别装置者,包含有: 流量算出手段,系根据来自前述流量感测器内上游 侧温度感测器之前述第一温度检出信号,与来自前 述下游侧温度感测器之前述第二温度检出信号的 差信号,算出前述计测对象流体之流量; 基准范围资料存储手段,系与流动于前述流路之前 述计测对象流体之流量对应地,存储有多数种类的 基准范围资料,此基准范围资料系将依流动于前述 流路之前述计测对象流体之种类而互异之基准范 围关联于前述计测对象流体之种类,而该基准范围 就是可从前述流量感测器内之温度感测器输出之 前述第三温度检出信号的基准范围; 基准范围资料推断手段,系从存储于前述基准范围 资料存储手段的多数种类之前述基准范围资料中, 推断单一之基准范围资料,此基准范围资料系对应 于由前述流量测定手段所测定的,流动于前述流路 之前述计测对象流体之流量;及 该当范围判别手段,系用以判别来自前述流量感测 器内横侧温度感测器的前述第三温度检出信号,究 竟在由前述基准范围资料推断手段所推断之前述 基准范围资料所显示的前述温度检出信号之基准 范围中,属于那一种类的,关联于前述计测对象流 体之基准范围;其特征在于: 若所属者为来自前述流量感测器内横侧温度感测 器的前述第三温度检出信号,则把关联于由前述该 当范围判别手段所判别之基准范围的前述计测对 象流体流量,判别为流动于前述流路之前述计测对 象流体的种类 26.一种流量计测装置,系使用申请专利范围第15项 所述之前述流量感测器,来计测流动于前述流路之 前述计测对象流体流量计测装置者,其特征在于包 含有: 流量算出手段,系根据来自前述流量感测器内上游 侧温度感测器之前述第一温度检出信号与来自前 述下游侧温度感测器之第三温度检出信号的差信 号,算出前述计测对象流体之流量; 流体物性値算出手段,系根据来自前述流量感测器 内横侧温度感测器之前述第三温度检出信号,算出 前述计划对象流体之物性値;及 流量补正手段,系根据由前述流体物性値算出手段 所算出的前述计测对象流体之物性値,补正由前述 流量算出手段所算出的前述计测对象流体流量。 27.如申请专利范围第26项所述之流量计测装置,其 特征在于: 前述流量补正手段系构成为:将藉由第三温度检出 信号値除前述信号値之値信号,作为流量检出信号 输出,藉此补正由前述流量算出手段所算出之前述 计测对象流体的流量。 28.一种流量计测装置,系使用前述申请专利范围第 15项所述之前述流量感测器,来计测流动于前述流 路之前述计测对象流体流路之流量计测对象流体 流路的流量计测装置者,其特征在于包含有: 流量算出手段,系根据来自前述流量感测器内上游 侧温度感测器之前述第一温度检出信号与来自前 述下游侧温度感测器之前述第二温度检出信号的 差信号,算出前述计测对象流体之流量,输出适应 于其算出値之値信号; 判定手段,系根据前述流量算出手段之输出信号値 ,判定流动于前述流路之前述计测对象流体的流量 究竟处于高流量状态及低流量状态之那一状态;及 流量输出手段,系由前述判定手段判定为处于前述 低流量状态时,将前述流量测定手段之输出信号照 原样作为流量检出信号来输出,反之,由前述判定 手段判定为处于前述高流量状态时,将利用来自前 述流量感测器内横侧温度感测器之前述第三温度 检出信号的値除前述流量算出手段之输出信号値 的値信号,作为前述流量检出信号输出。 29.一种流量计测装置,系使用申请专利范围第15项 所述之前述流量感测器,来计测流动于前述流路之 前述计测对象流体流量的流量计测装置者,包含有 : 流量算出手段,系根据来自前述流量感测器内上游 侧温度感测器之前述第一温度检出信号与来自前 述下游侧温度感测器之第二温度检出信号的差信 号,算出前述计测对象流体之流量,输出适应于其 算出値之値信号; 流体物性値算出手段,系根据来自前述流量感测器 内横侧温度感测器的第三温度检出信号,算出前述 计测对象流体之物性値; 参数记忆手段,系存储有多数种类的,换算前述流 量算出手段之输出信号値成流量値之参数;及 选择手段,系根据由前述流体物性値算出手段所算 出之前述计测对象流体的物性値,从前述参数记忆 手段中所记忆的多数种类之前述参数中选择单一 参数;其特征在于: 将一利用由前述选择手段所选择之参数从前述流 量算出手段之输出信号値换算的流量値,作为流动 于前述流路之前述计测对象流体流量的计测値。 图式简单说明: 第1图系第一实施形态之微流量感测器之构成图。 第2图系第一实施形态之微流量感测器之断面图。 第3图系使用第一实施形态之微流量感测器的流量 计测装置之方块图。 第4图为一流程图,显示由第一实施形态之流量计 测装置所实现的流量计测技术。 第5图系显示第一温度检出信号及第二温度检出信 号。 第6图系显示右侧检出信号及左侧温度检出信号。 第7图系第二实施形态之微流量感测器之构成图。 第8图系使用第二实施形态之微流量感测器的流量 计测装置之构成方块图。 第9图系习知热型微流量感测器之构成图。 |
