发明名称 Beam probe system and apparatus
摘要
申请公布号 GB1009702(A) 申请公布日期 1965.11.10
申请号 GB19610037779 申请日期 1961.10.20
申请人 ELION INSTRUMENTS, INC. 发明人
分类号 G01N23/225;G11C13/04;H01J35/02;H01J37/04;H01J37/24;H01J37/256;H01J37/304 主分类号 G01N23/225
代理机构 代理人
主权项
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