| 发明名称 |
Device and method for laser structuring functional polymers and the use thereof |
| 摘要 |
The invention relates to a device and process for laser structuring and applications thereof in the production of semiconductors.
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| 申请公布号 |
US2005106507(A1) |
申请公布日期 |
2005.05.19 |
| 申请号 |
US20050508737 |
申请日期 |
2005.01.10 |
| 申请人 |
BERNDS ADOLF;CLEMENS WOLFGANG;ROTH HANS-KLAUS;SCHRODNER MARIO;STOHN RALF-INGO |
发明人 |
BERNDS ADOLF;CLEMENS WOLFGANG;ROTH HANS-KLAUS;SCHRODNER MARIO;STOHN RALF-INGO |
| 分类号 |
B23K26/06;B23K26/40;H01L51/00;H01L51/40;H05K3/00;(IPC1-7):G03F7/20 |
主分类号 |
B23K26/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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