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Die Erfindung bezieht sich auf eine interferometrische Messvorrichtung zur Messung geometrischer Oberflächeneigenschaften mit einer Lichtabgabeeinheit (LQ) zum Erzeugen eines Eingangsstrahls (EST), einem diesen in einem zur Oberfläche eines Objekts geführten Objektstrahl (STO) und einen zu einer Referenz (R) geführten Referenzstrahl (STR) aufteilenden Strahlteiler (ST) und einer Aufnahmeeinheit (BA, K), der der zurückgeworfene Objektstrahl und der zurückgeworfene Referenzstrahl unter Interferenz miteinander zugeführt werden. Einstellvorgänge der interferometrischen Messvorrichtung werden dadurch begünstigt, dass zumindest in den Strahlengang des Referenzstrahles (STR) eine Polfilteranordnung (PFR; PFR1, PFR2) eingefügt ist, mit der die Intensität des Referenzstrahles (STR) zum Ändern des von der Referenz (R) erhaltenen Grauwerts variierbar ist.
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