发明名称 MIKROMECHANISCHE SENSOREN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DERSELBEN
摘要
申请公布号 DE50202807(D1) 申请公布日期 2005.05.19
申请号 DE20025002807 申请日期 2002.11.14
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 DEHE, ALFONS;FUELDNER, MARC
分类号 H04R19/01;H04R19/04;(IPC1-7):H04R19/01 主分类号 H04R19/01
代理机构 代理人
主权项
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