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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Teilchenstrahlgerät mit einem gekühlten Antikontaminator (18) und/oder einem gekühlten Probenhalter (17). Zur Verbindung zwischen dem Antikontaminator (18) und/oder dem Probenhalter (17) einerseits und dem Kühler (21) eines Kryogefäßes (20) ist ein Wärmeleiter (19) vorgesehen, der ein Kohlefaserbündel aufweist. Durch das Kohlefaserbündel (19) ist eine hohe Wärmeleitung zwischen dem Kühler (21) und den zu kühlenden Flächen (17, 18) gewährleistet. Gleichzeitig werden thermische Ausdehnungen, die zu einer Verschiebung des Antikontaminators und/oder des Probenhalters (17) führen, vermieden.
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