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发明名称 Plasmabearbeitungsgerät und Werkzeug zur Impedanzmessung
摘要
申请公布号 DE69924767(D1) 申请公布日期 2005.05.19
申请号 DE19996024767 申请日期 1999.11.25
申请人 ALPS ELECTRIC CO., LTD.;OHMI, TADAHIRO 发明人 NAKANO, AKIRA;KIM, CHUL;FUKUDA, KOICHI;KASAMA, YASUHIKO;OHMI, TADAHIRO;ONO, SHOICHI
分类号 G01R1/067;G01R27/02;G01R27/22;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 G01R1/067
代理机构 代理人
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