| 发明名称 |
Verfahren zur Herstellung einer Halbleiter-Vorrichtung |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE19980980(B4) |
申请公布日期 |
2005.05.19 |
| 申请号 |
DE19991080980 |
申请日期 |
1999.04.16 |
| 申请人 |
ASAHI KASEI MICROSYSTEMS CO., LTD. |
发明人 |
TAKESHITA, TERUKI |
| 分类号 |
H01L21/02;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06;H01L27/08;H01L21/822;H01L21/336 |
主分类号 |
H01L21/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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