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发明名称
Halbleitervorrichtung mit einer Polyzidstruktur und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要
申请公布号
DE19603450(B4)
申请公布日期
2005.05.19
申请号
DE19961003450
申请日期
1996.01.31
申请人
MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO
发明人
SHIRATAKE, SHIGERU;MOTONAMI, KAORU;HAMAMOTO, SATOSHI
分类号
H01L21/027;H01L21/28;H01L21/336;H01L21/768;H01L29/423;H01L29/49;H01L29/78;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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