| 发明名称 |
Verfahren zur Nassätzung einer Silizium Halbleiterscheibe |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69829737(D1) |
申请公布日期 |
2005.05.19 |
| 申请号 |
DE19986029737 |
申请日期 |
1998.02.10 |
| 申请人 |
NAOETSU ELECTRONICS CO., KUBIKI |
发明人 |
SATOH, TSUTOMU |
| 分类号 |
H01L21/00;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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