基板处理装置及其控制方法

摘要

一种不需要用户费事，而提高基板处理装置的检查可靠性的基板处理装置。处理室对于被收容的半导体晶片进行处理，搬送室搬送半导体晶片。前开式标准舱(front openingunified pod)收容用于检查处理室和搬送室的多个仿真晶片。CPU将与更换前开式标准舱内的仿真晶片前后的仿真晶片的配置有关的收容状况作为仿真晶片的设定信息，存储在HDD(hard disk drive)中。

主权项

1.一种基板处理装置，其特征在于，具有：至少一个处理基板的真空处理室；至少一个搬送所述基板的搬送室；至少一个收容所述真空处理室或所述搬送室的多个检查用基板的容器；存储装置；以及将与更换所述容器中的所述检查用基板前后的所述容器中的所述多个检查用基板的配置有关的收容状况作为设定信息，存储在所述存储装置中的控制装置。