用于测量多层重叠对准精确度的重叠游标图案及测量方法

摘要

一种用于测量多层重叠对准精确度的重叠游标图案及测量方法，该方法测量一第一材料层上的一第一对准标记与一第二材料层上的邻近该第一对准标记的一第二对准标记间的距离，以获得该第一材料层与该第二材料层间的对准偏移量；另外，该方法亦可测量该第二材料层上的该第二对准标记与一第三材料层上的邻近该第二对准标记的一第三对准标记间的距离，以获得该第二材料层与该第三材料层间的对准偏移量；由于在测量该第一材料层与第二材料层间的对准精确度及测量该第二材料层与该第三材料层间的对准精确度时，该第二对准标记可被重复使用，因此便可节省用来形成对准标记的切割道面积及测量时间，而增加产品的生产率。

主权项

1.一种用来测量多层重叠对准精确度的重叠游标图案，其特征是：该重叠游标图案设置于一晶圆的切割道上，其包括：多个第一对准标记设于一第一材料层上；多个第二对准标记设于一第二材料层上，且该第二材料层覆盖于该第一材料层上；以及多个第三对准标记设于一第三材料层上，且该第三材料层覆盖于该第二材料层上；其中一第一对准标记与邻近该第一对准标记的一相对应的第三对准标记间的距离用来测量该第一材料层与该第三材料层的对准偏差，而该第三对准标记与邻近该第三对准标记的一相对应的第二对准标记间的距离则是用来测量该第三材料层与该第二材料层的对准偏差。