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发明名称 ATOMIC LAYER DEPOSITION PROCESS AND APPARATUS
摘要
申请公布号 KR20050046617(A) 申请公布日期 2005.05.18
申请号 KR20040092488 申请日期 2004.11.12
申请人 THE BOC GROUP, INC. 发明人 JANSEN, FRANK
分类号 H01L21/205;C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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