压电加速传感器

摘要

一种压电加速传感器包括一个加速检测单元，它具有固定在振动膜一个表面上的重物，以及另一个表面上的压电元件，通过将压电元件的背面在此粘合而固定该压电元件；以及分别形成在压电元件的各表面上的表面电极和背面电极，其中用于在振动膜和表面电极之间维持均匀距离的一个支持图形成在压电元件的背面上，以抑制压电元件和振动膜连接时的粘合不均匀，并消除每个轴的检测敏感性的变化。

主权项

1.一种压电加速传感器包括：一个加速检测单元，具有固定在振动膜一表面上的重物，和固定在其另一个表面的薄板状压电元件，通过将所述压电元件的背面粘合在此而将其固定；和分别形成在所述压电元件的各个表面上的表面电极和背面电极，其特征是用于在所述振动膜和所述表面电极之间维持均匀距离的一个支持图形成在所述压电元件的背面上。