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发明名称 PROCESSING CHAMBER OF FPD MANUFACTURING MACHINE COMPRISING SHOWERHEAD
摘要
申请公布号 KR20050046329(A) 申请公布日期 2005.05.18
申请号 KR20030080406 申请日期 2003.11.14
申请人 ADP ENGINEERING CO., LTD. 发明人 CHOI, JUN YOUNG;HUR, GWANG HO;HWANG, YOUNG JOO;LEE, CHEOL WON
分类号 H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/306 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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