发明名称 氮化镓基半导体器件及其制造方法
摘要 提供了一种III-V族GaN基化合物半导体器件及其制造方法。该器件包括在具有多量子阱的有源层和p型GaN基化合物半导体层之间插入的AlGaN扩散阻挡层和InGaN牺牲层。
申请公布号 CN1617364A 申请公布日期 2005.05.18
申请号 CN200410088165.5 申请日期 2004.10.14
申请人 三星电子株式会社 发明人 司空坦;白好善;李成男;孙重坤;李元硕
分类号 H01L33/00;H01L21/20 主分类号 H01L33/00
代理机构 北京市柳沈律师事务所 代理人 陶凤波;侯宇
主权项 1.一种III-V族GaN基半导体器件,包括:一n型GaN基化合物半导体层;一包括设置在所述n型GaN基化合物半导体层上的交替叠置的量子阱和势垒层的有源层;一设置在所述有源层上的AlGaN扩散阻挡层;一形成于所述AlGaN扩散阻挡层上的InGaN牺牲层;以及一设置在所述InGaN牺牲层上的p型GaN基化合物半导体层。
地址 韩国京畿道