发明名称 | 低开启电压砷化镓基新结构异质结双极晶体管结构设计 | ||
摘要 | 本发明低开启电压砷化镓基新结构异质结双极晶体管结构设计,其中包括:砷化镓衬底;该衬底上生长一层重掺杂的N型砷化镓子收集区;该子收集区上是轻掺杂的N型砷化镓收集区;该收集区上为重掺杂的P型铟镓砷锑基区;该基区上为铟镓磷发射区;最上面一层为作欧姆接触用的帽层。 | ||
申请公布号 | CN1617313A | 申请公布日期 | 2005.05.18 |
申请号 | CN200310110889.0 | 申请日期 | 2003.11.10 |
申请人 | 四川大学 | 发明人 | 石瑞英;龚敏 |
分类号 | H01L21/331;H01L29/737 | 主分类号 | H01L21/331 |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 1、一种低开启电压砷化镓基新结构异质结双极晶体管结构设计,其特征在于,器件的结构包括:---半绝缘砷化镓衬底;---N+掺杂的砷化镓子收集区,该N+掺杂的砷化镓子收集区生长在半绝缘砷化镓衬底上;---该子收集区上是轻掺杂的N型砷化镓收集区;---该收集区上为重掺杂的P型铟镓砷锑基区;---该基区上为铟镓磷发射区;---最上面一层为作欧姆接触用的帽层。 | ||
地址 | 610064四川省成都市望江路29号 |