| 发明名称 |
METHOD FOR EXPOSING WAFER USING SCAN TYPE EXPOSURE APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20050046950(A) |
申请公布日期 |
2005.05.19 |
| 申请号 |
KR20030080575 |
申请日期 |
2003.11.14 |
| 申请人 |
SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. |
发明人 |
LEE, DONG HAN |
| 分类号 |
H01L21/027;C30B23/00;C30B25/00;C30B28/12;C30B28/14;G03F7/20;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/027 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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