自动光学测量方法

摘要

按照本发明的自动光学测量方法，利用把可动的反射板6移至光轴位置，光投射部分3a经过可动反射板6、不动反射板11和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，另一方面，利用把可动反射板6移离光轴和把参照物8放在样品台10上，光投射部分3a经过参照物8投射的光，被光接收部分3b接收，据此确定两次接收的光强的比值。在样品测量时，则把可动反射板6移至光轴位置，光投射部分3a投射的光，经过可动反射板6、不动反射板11和可动反射板6投射的光，被光接收部分3b接收，于是，用由此接收的光强和上述比值，估算用参照物测量的光强，用该估算的光强来校正经过样品接收的光强。

主权项

1.一种自动光学测量方法，用于测量光投射部分投射在样品上的光以及该样品反射进光接收部分的光，包括步骤：把用于反射被投射的光的一个可动反射单元放在样品台与光投射及接收部分之间的位置；把一个不动反射单元放在可动反射单元的离开该样品台的相对侧，所述不动反射单元接收来自可动反射单元的光并且反射回可动反射单元；把该可动反射单元移至光轴位置，光投射部分经过该可动反射单元、不动反射单元、和可动反射单元投射的光，被光接收部分接收；把可动反射单元从光轴移开，把参考物放在该样品台上，以便允许光接收部分接收经过该参考物来自光投射部分的光；确定该两次接收的光强的比值；和在样品测量时，把可动反射单元移至光轴位置，光投射部分经过该可动反射单元、不动反射单元、和可动反射单元投射的光，被光接收部分接收，利用该接收的光强和上面确定的比值，估算用参考物测量的光强，把可动反射单元从光轴移开，把样品放在该样品台上，以便允许光接收部分接收经过该样品来自光投射部分的光，并用该估算的来自参考物的要被测量的光强，校正经过样品的接收的光强。