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发明名称
摘要
申请公布号
JP3649165(B2)
申请公布日期
2005.05.18
申请号
JP20010217788
申请日期
2001.07.18
申请人
发明人
分类号
H01L25/18;H01L25/065;H01L25/07;(IPC1-7):H01L25/065
主分类号
H01L25/18
代理机构
代理人
主权项
地址
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